潔凈度5級(jí) cleanliness class 5    

      環(huán)境空氣中大于等于0．5μm的微粒數(shù)大于350粒／m3(0．35粒／L)到小于等于3500粒／m3(3．5粒／L)；大于等于5μm的微粒數(shù)為0粒／L的空氣潔凈程度。相當(dāng)于原100級(jí)。

潔凈度6級(jí) cleanliness class 6    

      環(huán)境空氣中大于等于0．5μm的微粒數(shù)大于3500粒／m3(3．5粒／L)到小于等于35200粒／m3(35．2粒／L)；大于等于5μm的微粒數(shù)小于等于293粒／m3(0．3粒／L)的空氣潔凈程度。相當(dāng)于原1000級(jí)。

潔凈度7級(jí) cleanliness class 7    

      環(huán)境空氣中大于等于0．5μm的微粒數(shù)大于35200粒／m3(35．2粒／L)到小于等于352000粒／m3(352粒／L)；大于等于5μm的微粒數(shù)大于293粒／m3(0．3粒／L)到小于等于2930粒／m3(3粒／L)的空氣潔凈程度。相當(dāng)于原10000級(jí)。

潔凈度8級(jí) cleanliness class 8 

      環(huán)境空氣中大于等于0．5μm的微粒數(shù)大于352000粒／m3(352粒／L)到小于等于3520000粒／m3(3520粒／L)；大于等于5μm的微粒數(shù)大于2930粒／m3(3粒／L)到小于等于29300粒／m3(29粒／L)的空氣潔凈程度。相當(dāng)于原100000級(jí)。

潔凈度8．5級(jí) cleanliness class 8．5    

      環(huán)境空氣中大于等于0．5μm的微粒數(shù)大于3520000粒／m3(3520粒／L)到小于等于11120000粒／m3(11120粒／L)；大于等于5μm的微粒數(shù)大于29300粒／m3(29粒／L)到小于等于92500粒／m3(93粒／L)的空氣潔凈程度。相當(dāng)于原30萬(wàn)級(jí)。